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發(fā)布時(shí)間:2019-04-04 點(diǎn)擊量:4891
采用1064納米激光激光刻蝕機對FTO、ITO導電膜進(jìn)行線(xiàn)路蝕刻,發(fā)現了FTO、ITO存在蝕刻不斷的現象,出現點(diǎn)狀現象,請問(wèn)如何處理?
管理員回復:通常情況下激光刻蝕FTO或ITO刻不斷有三點(diǎn)愿意需要去做調整:
1.檢查薄膜或玻璃材料是否平整,如果檢測平整性高,需要重新校正平臺、振鏡的精度;
2.檢查激光器的頻率、脈寬設置,可通過(guò)加大頻率、降低脈寬來(lái)調整;
3.檢查振鏡掃描速度設置,是否開(kāi)的過(guò)快,可降低振鏡掃描速度配合激光器的頻率、脈寬設置問(wèn)題來(lái)做。
另外還可以通過(guò)掃描多次的方式來(lái)檢測是否同一個(gè)位置可不短呈現點(diǎn)狀,還是其他位置也有這種情況,可以判斷出是否不平整或振鏡有問(wèn)題,還可以設置出光延遲等等問(wèn)題去解決,如果機器時(shí)間過(guò)長(cháng),還要考慮機器功率衰減的問(wèn)題,可以通過(guò)加大功率來(lái)做測試。
管理員 Asked question 2019-05-22
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